Chemisch-mechanische Poliermaschine vom Grundtyp
Der Grundtyp der CP-Maschinen kann in den meisten Fällen die Anwendungsanforderungen des chemisch-mechanischen Polierens erfüllen. Das Gerät verfügt über eine Labyrinth-Einweg-Polierplattenkühlstruktur, um die Gleichmäßigkeit der Wärmeableitung und die Beibehaltung der Plattenform während des Poliervorgangs effektiv sicherzustellen und so die Poliergenauigkeit in Bezug auf die Hardware sicherzustellen. Der Einsatz von großformatigen, reibungsarmen Zylindern, die speziell von LSTD entwickelt und hergestellt wurden, gewährleistet die Verarbeitungsfestigkeit sowie die Prozessgenauigkeit.
Typ und Spezifikation | CP-380B(V*) | CP-460B(V) | CP-610B(V) | CP-810B(V) | CP-910B(V) | CP-1280B(V) | CP-1500B(V) |
Durchmesser der Polierplatte | 381 mm | 460mm | 610 mm | 812mm | 914 mm | 1282 mm | 1500 mm |
Druckplattendurchmesser | 139 mm | 150mm | 240mm | 304,8 mm | 360 mm/355 mm | 485mm | 576 mm |
Anzahl der Druckplatten | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Polierteller U/min | 10~160 U/min | 10~160 U/min | 10~115 U/min | 10~87 U/min | 10-80U/min | 10~64 U/min | 10-54U/min |
Polierdruck (max.) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg | 320kg | 560kg | 760kg |
Motorleistung | 0.75 kW | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Stromversorgung | 3PH, 380V, 50Hz | ||||||
Dimension | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Gewicht (ca.) | 350kg | 650kg | 980kg | 1800kg | 2200kg | 7000 kg | 8600kg |
Wafer-Ladekapazität | 2"-4Stück/Kopf 2"-3Stück/Kopf(V) | 2"-5Stück/Kopf 2"-4Stück/Kopf(V) | 2"-10Stück/Kopf 4"-3Stück/Kopf | 2"-14Stück/Kopf 4"-5Stück/Kopf 5"-3Stück/Kopf | 4"-7Stück/Kopf 5"-5Stück/Kopf 6"-3Stück/Kopf | 5"-8Stück/Kopf 6"-6Stück/Kopf 8"-3Stück/Kopf | 6"-8Stück/Kopf 8"-5Stück/Kopf |
*V steht für Vakuumspannfutter
Der Polierschlamm-Versorgungstank mit Grundfunktion kann mit CP-Maschinen des Basistyps verwendet werden, während auch einige professionelle Schlammmanagementsysteme verwendet werden können. LSTD hat eine Reihe von Polierschlamm-Managementsystemen entwickelt, um die Kontrollfunktionen des Polierschlamms wie Zufuhr, Umwälzung, Filterung, Temperaturstabilisierung und PH-Kontrolle zu realisieren und so einen stabilen Polierprozess sicherzustellen.
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