Mechanische Poliermaschine der MP-Serie
Die mechanischen Poliermaschinen der LSTD MP-Serie wurden entwickelt, um die Anforderungen des schnellen Polierens von superharten Materialien zu erfüllen. Die Ausrüstung verwendet weiche Metallplatten oder Verbundplatten und Diamantschlamm mit spezifischer Partikelgröße, wodurch das bearbeitete Werkstück schnell eine Spiegeloberfläche erreichen kann. Ein weiterer wesentlicher Vorteil des mechanischen Polierens besteht darin, dass unter der Voraussetzung einer guten Kontrolle der Plattenform eine sehr flache Werkstückoberfläche nahezu ohne Kanteneinbruch erzielt werden kann. Bei Werkstücken (Wafern) mit epitaktischer Anwendung kann nach dem mechanischen Polieren die Prozesszeit des chemisch-mechanischen Polierens erheblich verkürzt und die Kosten gesenkt werden. Die chemisch-mechanische Poliermaschine der MP-Serie kann zum mechanischen Polieren verschiedener superharter Halbleiterwafer wie Saphir, Siliziumkarbid und Diamant sowie zum Polieren anderer superharter Materialien wie Keramik, Hartmetall und vergütetem Stahl verwendet werden.
Wie chemisch-mechanische Poliermaschinen der CP-Serie:
Die mechanischen Poliermaschinen der MP-Serie sind ebenfalls in drei gleiche Modelle unterteilt: Basistyp, Typ mit zentral angetriebener Druckscheibe (CD-Typ) und Typ mit unabhängigem Druckplattenantrieb (IDP-Typ) (siehe Seite 4; mechanische Poliermaschinen der MP-Serie haben eine ähnliche Struktur wie CP Um den Anforderungen des mechanischen Polierens gerecht zu werden, sind die mechanischen Poliermaschinen der MP-Serie mit einem Polierplattendrehsystem zum Nuten der Platten ausgestattet.
Mechanische Poliermaschine vom Typ IDP:
Die mechanische Poliermaschine vom Typ IDP kann auch die mechanische Poliergenauigkeit weiter verbessern, indem sie die Schwenkfunktion der Druckplatte integriert; Um die Probleme der Ausdehnungsverformung und der Härtereduzierung der Polierplatte zu lösen, die durch die durch mechanisches Polieren erzeugte Erwärmung verursacht werden, hat LSTD eine neue Technologie entwickelt und ein Patent angemeldet, mit der die Plattenoberflächentemperatur, die Plattenform und die Plattenhärte effektiv gesteuert werden können. Beim mechanischen Polieren von Halbleitermaterialien der dritten Generation wie Siliziumkarbid, Diamant und anderen Wafern kann diese Technologie die Probleme der Effizienz und Genauigkeit des mechanischen Polierens effektiv lösen.
Mechanische Poliermaschine der BASIC TYPE MP-Serie
Typ und Spezifikation | MP-380B(V*) | MP-460B(V) | MP-610B(V) | MP-810B(V) | MP-910B(V) | MP-1280B(V) | MP-1500B(V) |
Durchmesser der Polierplatte | 381 mm | 460mm | 598 mm | 796 mm | 898mm | 1262 mm | 1480 mm |
Druckplattendurchmesser | 139mm | 150mm | 240mm | 304,8 mm | 360 mm/355 mm | 485mm | 576 mm |
Anzahl der Druckplatten | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Polierteller U/min | 10~160 U/min | 10~160 U/min | 10~115 U/min | 10~87 U/min | 10-80U/min | 10~64 U/min | 10-54U/min |
Polierdruck (max.) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg | 320kg | 560kg | 760kg |
Motorleistung | 0.75 kW | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Stromversorgung | 3PH, 380V, 50Hz | ||||||
Abmessungen | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Gewicht ca..) | 420kg | 720kg | 1080 kg | 2200kg | 2400kg | 7300 kg | 9500 kg |
Wafer-Ladekapazität | 2"-4Stück/Kopf 2"-3Stück/Kopf(V) | 2"-5Stück/Kopf 2"-4Stück/Kopf(V) | 2"-10Stück/Kopf 4"-3Stück/Kopf | 2"-14Stück/Kopf 4"-5Stück/Kopf 5"-3Stück/Kopf | 4"-7Stück/Kopf 5"-5Stück/Kopf 6"-3Stück/Kopf | 5"-8Stück/Kopf 6"-6Stück/Kopf 8"-3Stück/Kopf | 6"-8Stück/Kopf 8"-5Stück/Kopf |
Mechanische Poliermaschine der CD TYPE MP-Serie
Typ und Spezifikation | MP-380B-CD | MP-460B-CD | MP-610B-CD | MP-810B-CD |
Durchmesser der Polierplatte | 381 mm | 460mm | 598 mm | 796 mm |
Druckplattendurchmesser | 139mm | 150mm | 240mm | 304,8 mm |
Anzahl der Druckplatten | 3 | 4 | 4 | 4 |
Polierteller U/min | 10~160 U/min | 10~160 U/min | 10~115 U/min | 10~87 U/min |
Polierdruck (max.) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg |
Mittig angetriebene Motorleistung | 400W | 750KW | 1KW | 1,5 kW |
Hauptmotorleistung | 0.75 kW | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW |
Stromversorgung | 3PH, 380V, 50Hz | |||
Abmessungen | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H |
Gewicht ca..) | 420kg | 720kg | 1080 kg | 2200kg |
Wafer-Ladekapazität | 2"-4Stück/Kopf | 2"-5Stück/Kopf | 2"-10Stück/Kopf 4"-3Stück/Kopf | 2"-14Stück/Kopf 4"-5Stück/Kopf 5"-3Stück/Kopf |
Typ und Spezifikation | MP-910B-CD | MP-1280B-CD | MP-1500B-CD |
Durchmesser der Polierplatte | 898mm | 1262 mm | 1480 mm |
Druckplattendurchmesser | 360 mm / 355 mm | 485mm | 576 mm |
Anzahl der Druckplatten | 4 | 4 | 4 |
Polierteller U/min | 10-80U/min | 10~64 U/min | 10-54U/min |
Polierdruck (max.) | 320kg | 560kg | 760kg |
Mittig angetriebene Motorleistung | 2KW | 3,5 kW | 5,5 kW |
Hauptmotorleistung | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Stromversorgung | 3PH, 380V, 50Hz | ||
Abmessungen | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Gewicht ca..) | 2400kg | 7300 kg | 9500 kg |
Wafer-Ladekapazität | 4"-7Stück/Kopf 5"-5Stück/Kopf 6"-3Stück/Kopf | 5"-8Stück/Kopf 6"-6Stück/Kopf 8"-3Stück/Kopf | 6"-8Stück/Kopf 8" 5 Stück/Kopf |
Mechanische Poliermaschine der IDP TYPE MP-Serie
Typ und Spezifikation | MP-380B-IDP | MP-460B-IDP | MP-610B-IDP | MP-810B-IDP |
Durchmesser der Polierplatte | 381 mm | 460mm | 598 mm | 796 mm |
Druckplattendurchmesser | 139mm | 150mm | 240mm | 304,8 mm |
Anzahl der Druckplatten | 3 | 3 | 4 | 4 |
Polierteller U/min | 10~160 U/min | 10~160 U/min | 10~115 U/min | 10~87 U/min |
Polierdruck (max.) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg |
Druckplatte angetrieben. Motorleistung | 200W | 200W | 400KW | 400KW |
Drehzahl der Druckplatte | 0~200 U/min | 0~200 U/min | 0~100 U/min | 0~100 U/min |
Hauptmotorleistung | 0.75 kW | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW |
Stromversorgung | 3PH, 380V, 50Hz | |||
Abmessungen | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Gewicht ca..) | 350kg | 350kg | 980kg | 1800kg |
Wafer-Ladekapazität | 2"-4Stück/Kopf | 2"-4Stück/Kopf | 2"-10Stück/Kopf 4"-3Stück/Kopf | 2"-14Stück/Kopf 4"-5Stück/Kopf 5"-3Stück/Kopf |
Typ und Spezifikation | MP-910B-IDP | MP-1280B-IDP | MP-1500B-IDP |
Durchmesser der Polierplatte | 898mm | 1262 mm | 1480 mm |
Druckplattendurchmesser | 360 mm / 355 mm | 485mm | 576 mm |
Anzahl der Druckplatten | 4 | 4 | 4 |
Polierteller U/min | 10-80U/min | 10~64 U/min | 10-54U/min |
Polierdruck (max.) | 320kg | 560kg | 760kg |
Druckplatte angetrieben. Motorleistung | 2KW | 1KW | 1,3 kW |
Drehzahl der Druckplatte | 2KW | 0~100 U/min | 0~100 U/min |
Hauptmotorleistung | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Stromversorgung | 3PH, 380V, 50Hz | ||
Abmessungen | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Gewicht ca..) | 2200kg | 7000 kg | 8600kg |
Wafer-Ladekapazität | 4"-7Stück/Kopf 5"-5Stück/Kopf 6"-3Stück/Kopf | 5"-8Stück/Kopf 6"-6Stück/Kopf 8"-3Stück/Kopf | 6"-8Stück/Kopf 8" 5 Stück/Kopf |
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