Poliervorlagen

Die Schablone dient zum Halten von Wafern durch Wasserfilmspannung anstelle von Wachs. Im Vergleich zur Methode, Wafer durch Wachs zu halten, ist die Verwendung von Schablonen zum Halten von Wafern effizienter und die Produktionskosten sind geringer. Die Schablonentasche kann für die Aufnahme bestimmter Teile in verschiedenen Formen und Tiefen gestaltet werden.

Um die Geometriepräzision polierter Wafer zu kontrollieren, werden Schablonen oft mit ihrem PSA-Rückenband auf eine Keramikplatte geklebt. Entsprechend den Materialien der Wafer und den Eigenschaften der Aufschlämmungen können verschiedene Arten von Trägerfolien ausgewählt werden. Für das Polieren von Si-Wafern und Saphir-Wafern wird die Verwendung einer offenzelligen Trägerfolie empfohlen, während für das Polieren von GaAs, InP, CZT usw., wo die Polierflüssigkeit korrosiver ist, eine geschlossenzellige Trägerfolie empfohlen wird.

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