Vakuum-Läpp-Poliervorrichtung

Merkmale und Anwendung:

Vakuum-Läpp- und Poliervorrichtungen der GLP-Serie werden hauptsächlich zum Fixieren weicher und spröder Materialien beim Läppen und Polieren verwendet. Das Gerät verfügt über einen einstellbaren, sehr geringen Läpp-/Polierdruck, und die Waferdicke kann während des Prozesses rechtzeitig erfasst werden. Das Verfahren realisiert die effektive Kontrolle des TTV beim einseitigen Läpp-/Polierprozess. Basierend auf den F&E- und Fertigungsvorteilen von LSTD bei Präzisionskeramikprodukten haben wir die Läpp-/Poliervorrichtungen weiter optimiert; Die Läpp-/Poliervorrichtungen der GLP-Serie verwenden Keramik-Vakuumspannfutter und Keramik-Konditionierungsringe. Diese Optimierungen werden die Lebensdauer und Genauigkeit der Produkte effektiv verbessern.

Standard-Keramikfutter

Bei Verwendung des Standard-Spanntisches wird der Wafer durch Wachs auf einen Träger geklebt und anschließend wird der Träger zur Bearbeitung angesaugt.

Mikroloch-Keramikfutter

Wenn der Mikroloch-Spanntisch verwendet wird, wird der Wafer zur Bearbeitung direkt unter dem Keramikspannfutter adsorbiert.

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