CMP-Pad-Conditioner

Pad-Konditionierer werden für die Konditionierung sowohl von Standard-Polierpads als auch von Feinpolierpads verwendet. Durch die Konditionierung dieser Pads kann die Pad-Ebenheit gut kontrolliert und die Rauheit der Pad-Oberfläche optimiert werden, wodurch die Geometriepräzision der polierten Wafer garantiert werden kann Die Poliereffizienz ist stabiler als bei nicht konditionierten Pads. Durch die richtige Behandlung mit Pad-Conditionern kann die Lebensdauer des Polierpads oft um bis zu 30 bis 50 Prozent verlängert werden.

Pad-Conditioner sind sowohl beim einseitigen als auch beim doppelseitigen Polierprozess nützlich. Für jeden Zweck gibt es viele mögliche Designs, die zu unterschiedlichen Ergebnissen führen können. Unabhängig von den Designs, die wir verwenden, werden die Ebenheitskontrolle, die Parallelitätskontrolle und die Kontrolle der Diamantbindungsstärke immer streng und ohne Kompromisse ausgeführt.

Einseitiger Pad-Conditioner

Doppelseitige Pad-Aufbereiter-Baugruppe

Die Keramik-Poliertuch-Abrichtplatte wird auch zum Abrichten von Polierpads verwendet. In der Anfangsphase der Verwendung des Polierpads kann dieser Padabrichter zum Abrichten des Polierpads verwendet werden, um eine gute Kleberückseite zu erzielen und die Ebenheit des Polierpads zu kontrollieren.

Einseitige Pad-Conditioner-Baugruppe

Konditionierungsträger mit doppelseitigem Polster

Kommode mit Keramikplatte

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